三坐标的月度、季度、年度检查
每月：1、测量典型零件，检查测量机精度是否有很大的变化，能否满足要求。在季节变化或环境条件变化时尤其需要检查。
2、检查过滤器是否清洁。检查供气管道是否清洁。
每季：
1、清洗过滤器滤心。
2、季节变更时，检查环境条件温、湿度变化情况。
3、检测典型零件，确定测量机精度变化情况。
4、检查探测系统即测头精度。估算测头寿命，适当准备备件（尤其是触发式测头）。
每年：
1、建议每年进行测量机精度校准。
2、检查压缩空气管道、储气罐的安全性等。
3、对测量机气浮块、传动带、电机等机械部分进行检查。
4、清洁光栅尺，检查读数头工作状态。
5、对控制系统进行清洁，检查内部电缆头是否松动。
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